1、光源
 

　　光源是 塵埃粒子計(jì)數(shù)器 的關(guān)鍵部件，對(duì)儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng)、不受干擾。
 

　　光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng)，常與檢測(cè)腔及光檢測(cè)器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。
 

　　2、測(cè)量腔
 

　　測(cè)量腔是進(jìn)行微粒觀測(cè)的空間，被采集的空氣要從測(cè)量腔內(nèi)穿過。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測(cè)量腔中，形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區(qū)。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時(shí)，會(huì)散射出一部分光能量，被與人射光成一角度(900或700)的集光透鏡收集，再投射到光檢測(cè)器上。
 

　　3、光檢測(cè)器
 

　　光檢測(cè)器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換器件。 塵埃粒子計(jì)數(shù)器 中較常用的光檢測(cè)器是光電倍增管和光電二極管。
 

　　光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號(hào)，光譜具有線性好、響應(yīng)時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負(fù)高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對(duì)儀器進(jìn)行調(diào)試或校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全。
 

　　光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡(jiǎn)單的特點(diǎn)，常與檢測(cè)腔做成一體。
 

　　4、流里監(jiān)控
 

　　目前國(guó)產(chǎn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器常采用轉(zhuǎn)子流量計(jì)作流量指示，儀器的流量調(diào)節(jié)大多數(shù)是直接調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計(jì)上的旋鈕，此時(shí)儀器的控制電路對(duì)流量是沒有監(jiān)控的。進(jìn)口塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過流量傳感器對(duì)流量進(jìn)行監(jiān)測(cè)，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)或自動(dòng)反饋調(diào)節(jié)。
 

　　5、氣泵及過濾器
 

　　氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動(dòng)小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應(yīng)能過濾掉0.3ftm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對(duì)潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
 

　　6、電路系統(tǒng)
 

　　不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會(huì)產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號(hào)，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號(hào)電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對(duì)于給定的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對(duì)應(yīng)的。